Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
倉田 博基
日本結晶学会誌, 39(6), p.416 - 425, 1997/00
近年、透過電子顕微鏡を用いて、試料の局所分析を行う手法が活発に研究されている。なかでも、電子エネルギー損失分光法を複合した分析電顕では、ナノメートルオーダーの空間分解能で、局所元素分析や状態分析を行えるまでに進展した。更に、電顕の結像機能を積極的に利用して、特定元素の空間分布を可視化するマッピング技法も、エネルギーフィルター電子顕微鏡により可能となった。本総説では、エネルギーフィルター電顕法の原理を解説し、元素マッピング等の材料科学への応用について概説した。特に、元素マッピングの性能を決定する、フィルター像の空間分解能についても論じた。
